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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种衬底处理系统的站包括基座和护罩。基座被设置在该站的井部中。该基座包括基部和杆部，该基部用于支撑衬底，而该杆部从该基部延伸至该站的该井部中。护罩耦合至该基座的该基部。该护罩围绕着该基部，且沿着该杆部延伸至该站的该井部中。该站还包括衬垫，其加衬在该站的该井部的内侧壁上。该站还包括衬垫，其加衬在该站的该井部的底部的面向基座的表面上。该站还包括中空物体，其设置在该站的该井部中。该中空物体的尺寸小于该站的该井部。
主权项：1.一种衬底处理系统的站，其包括：基座，其设置在所述站的井部中，所述基座包括基部和杆部，所述基部用于支撑衬底，而所述杆部从所述基部延伸至所述站的所述井部中；以及护罩，其耦合至所述基座的所述基部，所述护罩围绕所述基部，且沿着所述杆部延伸至所述站的所述井部中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于在衬底处理系统中引导处理气体及副产物流动的基座护罩
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