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申请/专利权人：江苏中圣压力容器装备制造有限公司
摘要：本发明涉及一种节能型电子级多晶硅冷氢化工艺的装置系统及生产方法，所述装置系统中沿气体的流动方向依次连接所述反应器的反应气相出口、一段余热回收换热单元、气固分离除尘单元、一段洗涤单元、二段余热回收换热单元、一级气液分离单元、二段洗涤单元、冷却单元、二级气液分离单元、变压吸附单元和循环单元，反应器流出的反应气相分别作为一段余热回收换热单元和二段余热回收换热单元的热源对原料进行预热，并通过变压吸附单元对尾气中的氯硅烷进行脱除，摒弃了传统工艺极度耗能的深冷模式，提升系统的能量利用率，降低系统能耗，同时确保产品品质能够匹配电子级多晶硅的生产要求。
主权项：1.一种节能型电子级多晶硅冷氢化工艺的装置系统，其特征在于，所述装置系统包括反应器；沿气体的流动方向依次连接所述反应器的反应气相出口、一段余热回收换热单元、气固分离除尘单元、一段洗涤单元、二段余热回收换热单元、一级气液分离单元、二段洗涤单元、冷却单元、二级气液分离单元、变压吸附单元和循环单元；其中，所述反应器的反应气相出口与一段余热回收换热单元的热源入口连接，所述一段余热回收换热单元的热源出口与气固分离除尘单元连接；所述一段洗涤单元的气相出口与二段余热回收换热单元的热源入口连接，所述二段余热回收换热单元的热源出口与一级气液分离单元连接；所述变压吸附单元的提纯气气相出口连接所述循环单元，所述变压吸附单元的脱附气出口连接所述精馏分离单元；所述循环单元还连接有四氯化硅进气口和氢气进气口，所述循环单元的混合原料出口与二段余热回收换热单元的冷源入口连接；所述二段余热回收换热单元的冷源出口经汽化单元与一段余热回收换热单元的冷源入口连接，所述一段余热回收换热单元的冷源出口经电加热单元与反应器的入口连接，所述反应器的入口还与硅粉进料单元连接。
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