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申请/专利权人:赛尼克公司
摘要:本发明涉及用于测量含石墨物品的与感应加热特性有关的物性的测量方法、测量装置以及晶锭生长系统。测量方法包括:配置步骤,在包括卷绕的导线的线圈部配置含石墨物品;以及测量步骤,通过与所述线圈部电连接的计测构件向所述线圈部施加测量用电源,来测量在所述线圈部感应的电磁物性。所述测量方法等测量晶锭生长容器、绝热材料等含石墨物品的电磁物性并提供挑选所需的资料,从而能够确保进一步提高晶锭生长的再现性。
主权项:1.一种含石墨物品的测量方法,测量含石墨物品的与感应加热特性有关的物性,其中,所述含石墨物品是晶锭生长容器或绝热材料,所述含石墨物品的测量方法包括:配置步骤,在包括卷绕的导线的线圈部配置含石墨物品;以及测量步骤,通过与所述线圈部电连接的计测构件向所述线圈部施加测量用电源,来测量在所述线圈部感应的电磁物性,所述电磁物性,是选自由所述线圈部的等效串联电阻、等效串联电感以及品质因子组成的组中的至少一者,所述线圈部的内径的周长与所述线圈部的导线的截面积的比例为100:1.57至100:161,其中,所述周长的单位为mm,所述截面积的单位为mm2,施加100kHz以及0.1A的交流电源来测量的所述晶锭生长容器的等效串联电阻值为2.35Ω至4.56Ω,施加100kHz以及0.1A的交流电源来测量的所述绝热材料的等效串联电阻值为10.57Ω至14.16Ω。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 赛尼克公司 含石墨物品的测量方法、测量装置以及晶锭生长系统
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