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申请/专利权人：无锡冠亚恒温制冷技术有限公司

摘要：本发明涉及半导体测试技术领域，公开了一种半导体老化冷热测试装置，包括底板，还包括：测试盘，测试盘水平设置于底板上方，测试盘顶部开设有四个呈环形均匀分布的测试槽，测试槽贯穿测试盘；转动组件，转动组件设置于底板顶部；测试组件，测试组件设置于底板、测试盘和转动组件上；供温组件，供温组件设置于测试盘上和底板顶部。本发明能够使半导体固定在框体内后自动进入测试槽内部测试，并且还能够在测试时自动翻转，保证了半导体各个部位受温的均匀性，有助于提高对半导体的测试效果，另外还能够在自动测试时，使第一密封板自转翻转，以实现制冷片制冷对半导体测试和电热丝制热对半导体测试，从而使得对半导体的测试效果好效率高。

主权项：1.一种半导体老化冷热测试装置，包括底板（1），其特征在于，还包括：测试盘（7），所述测试盘（7）水平设置于底板（1）上方，所述测试盘（7）顶部开设有四个呈环形均匀分布的测试槽（26），所述测试槽（26）贯穿测试盘（7）；转动组件，所述转动组件设置于底板（1）顶部，所述转动组件还与测试盘（7）底部连接，所述转动组件用于带动测试盘（7）转动；测试组件，所述测试组件设置于底板（1）、测试盘（7）和转动组件上，所述测试组件用于对半导体进行固定翻转测试；供温组件，所述供温组件设置于测试盘（7）上和底板（1）顶部，所述供温组件用于对半导体测试时提供合适的温度；所述供温组件包括：第一密封板（27），所述第一密封板（27）有四个，四个所述第一密封板（27）分别转动安装于四个测试槽（26）内部顶端，每个所述第一密封板（27）顶部和底部均分别安装有电热丝（28）和制冷片（29），每个所述第一密封板（27）顶部和底部均分别安装有第二铜片（33）和第一铜片（31），对应的所述第一铜片（31）和对应的电热丝（28）电连接，对应的所述第二铜片（33）和对应的制冷片（29）电连接，所述测试盘（7）顶部还固定有四个呈环形均匀分布的第三铜片（32），当第一铜片（31）和第三铜片（32）接触时，会使电热丝（28）工作，当第三铜片（32）和第二铜片（33）接触会使制冷片（29）工作，所述测试盘（7）外壁转动安装有四个呈环形均匀分布的第三齿轮（11），对应的所述第三齿轮（11）通过连接轴固定安装于对应的第一密封板（27）侧面中心处，所述测试盘（7）表面转动套接有圆环（10），所述圆环（10）上固定有四个呈环形均匀分布的弧形齿条，当所述弧形齿条和第三齿轮（11）接触时弧形齿条和第三齿轮（11）啮合，所述底板（1）顶部竖直固定有两个对称设置的立板（8），所述圆环（10）固定安装于立板（8）侧面，所述转动组件包括：转环（2），所述转环（2）转动安装于底板（1）顶部，所述转环（2）表面固定套接有第一齿环（3），所述底板（1）顶部还转动安装有第一齿轮（4），所述第一齿轮（4）和第一齿环（3）啮合，所述底板（1）顶部安装有伺服电机（5），所述伺服电机（5）的输出轴安装于第一齿轮（4）顶部中心处，所述转环（2）顶部竖直固定有四个呈环形均匀分布的立柱（6），四个所述立柱（6）顶端均固定安装于测试盘（7）底部，所述测试组件包括：斜坡柱（13）和测试机构，所述测试机构有四个，四个所述测试机构呈环形均匀分布于转环（2）顶部，所述斜坡柱（13）设置于底板（1）和测试盘（7）之间，所述斜坡柱（13）顶部开设有斜坡，所述斜坡柱（13）底部中心处固定安装有固定柱（12），所述固定柱（12）末端固定安装于底板（1）顶部，所述测试盘（7）下方还水平设置有第二齿环（9），所述第二齿环（9）固定安装于立板（8）侧面，所述测试机构包括：衔接板（18），所述衔接板（18）水平设置于转环（2）和测试盘（7）之间，所述转环（2）顶部竖直固定安装有弹簧杆（14），所述弹簧杆（14）的固定端和伸缩端通过花键连接，所述弹簧杆（14）的伸缩端顶部固定安装于衔接板（18）底部中心处，所述弹簧杆（14）伸缩端固定套接有横杆（16），所述横杆（16）远离弹簧杆（14）的端部固定安装有球体（17），所述球体（17）滑动设置于斜坡柱（13）顶部，所述衔接板（18）上方水平设置有第二密封板（20），所述第二密封板（20）上方水平设置有框体（23），所述衔接板（18）顶部两端分别竖直固定有限位板（30）和竖直转动安装有转杆（21），所述限位板（30）顶端转动安装于框体（23）侧面中心处，所述限位板（30）表面固定安装于第二密封板（20）内部，所述转杆（21）表面转动安装于第二密封板（20）内部，所述衔接板（18）底部转动安装有第二齿轮（19），所述第二齿轮（19）通过连接轴固定安装于转杆（21）底部中心处，所述第二齿轮（19）和第二齿环（9）啮合，所述转杆（21）顶部固定安装有锥齿轮（22），所述锥齿轮（22）有两个，两个所述锥齿轮（22）相互啮合，另一个所述锥齿轮（22）固定安装于框体（23）远离限位板（30）的侧面中心处。

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