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申请/专利权人：ASMIP私人控股有限公司
摘要：公开了一种包括气体分配组件的反应器系统和使用所述反应器系统的方法。所述气体分配组件包括气体分配装置、气体膨胀区域和处于所述气体分配装置和所述膨胀区域下游的喷头板。
主权项：1.一种反应器系统，包含：第一反应室；流体地联接到所述第一反应室的第一远程等离子体单元；以及接收来自所述第一远程等离子体单元的活化物质的气体分配组件；以及在所述第一远程等离子体单元和所述气体分配组件之间的输送路径，其中所述气体分配组件包含：气体分配装置；气体膨胀区域；以及处于所述气体分配装置和所述气体膨胀区域下游的喷头板，其中来自所述第一远程等离子体单元的活化物质流过所述气体分配装置并被分配在所述气体膨胀区域内，且其中所述输送路径被冷却。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASMIP私人控股有限公司 反应器系统以及其使用方法
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