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申请/专利权人：无锡亘芯悦科技有限公司

摘要：本发明涉及一种真空内穿梭式移送晶圆的装置，属于半导体检测设备技术领域，尤其是晶圆传输的技术领域。本发明一方面构建具有交错运动的双晶圆工位的搭载平台，另一方面设置双轴旋转机构和动力模块进行驱动，不仅实现了两个晶圆分别独立同时进行不同高度平面的运载，互不干涉，并且也利用较为节约空间的双轴旋转机构实现了搭载平台的自转以及两个抓手伸缩运动的驱动传动，解决了旋转半径限制的问题。同时，动力模块通过隔板与设置于真空环境内的载送机构和双轴旋转机构隔离开，便于操作者在真空环境外启停设备实施。整体结构紧凑且构造精妙，能够适应两个晶圆加工的工况下的多种运载模式。

主权项：1.一种真空内穿梭式移送晶圆的装置，其特征在于，包括：载送机构，包括搭载平台、连接所述搭载平台的驱动组，所述搭载平台配置有允许驱动组驱动伸缩的且位于不同高度的第一抓手、第二抓手，所述第一抓手和第二抓手用以搭载晶圆；双轴旋转机构，包括与搭载平台连接的输出内轴、与驱动组连接的输出外轴，所述输出内轴嵌套于输出外轴的内腔，且所述输出外轴、输出内轴允许相互独立旋转、互不干涉；动力模块，包括与所述双轴旋转机构连接的磁流体密封输入模组、中空的外轴伺服电机、内轴伺服电机，所述外轴伺服电机连接有输入外轴，所述输入外轴依次通过磁流体密封输入模组、转接组连接所述输出外轴；所述内轴伺服电机连接有输入内轴，所述输入内轴依次通过外轴伺服电机的中空部分、磁流体密封输入模组、转接组连接所述输出内轴；所述动力模块被配置为通过控制输出外轴、输出内轴分别致使两个抓手完成交错伸缩运动、搭载平台完成自转运动，其中，交错伸缩运动包括第一抓手和第二抓手分别携带晶圆做相向运动、背离方向的运动，能够使得第一抓手和第二抓手携带的两个晶圆上下位置重叠、部分重叠或完全不重叠；所述搭载平台包括中间板、安装于中间板两侧的两个水平侧板、分别连接两个水平侧板的垂直侧板，所述中间板上安装有第一工作轨道，所述第一抓手通过第一工作滑块装配于第一工作轨道；两个水平侧板上均安装有与第一工作轨道同向的第二工作轨道，所述第二抓手通过两个第二工作滑块分别装配于两个第二工作轨道；两个所述垂直侧板分别设置有与所述第一工作轨道同向的第一驱动轨道、第二驱动轨道；所述驱动组包括安装于所述输出外轴的第一驱动组和第二驱动组且所述第一驱动组位于第二驱动组上方，所述第一驱动组连接第一抓手，所述第二驱动组连接第二抓手。

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