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申请/专利权人：深圳晶源信息技术有限公司
申请日：2019-02-22
公开（公告）日：2023-03-31
公开（公告）号：CN111612862B
主分类号：G06T11/00
分类号：G06T11/00;G06F30/392
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2023.03.31#授权;2020.09.25#实质审查的生效;2020.09.01#公开
摘要：本发明涉及半导体制造的光刻领域，特别涉及一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置。所述SRAF图像生成方法包括：分析待处理版图中各边的对称性信息，基于具有对称性的边进行分组；根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组边的SRAF点生成范围；设定SRAF点之间的间隔距离，以间隔距离生成SRAF点，并标记其所属的父边及对应SRAF点的标签；保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及结合SRAF点及SRAF图像生成算法生成SRAF图像。通过SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置可有效解决现有方法生成的SRAF图像不能维持版图对称性的问题。
主权项：1.一种SRAF图像生成方法，其特征在于：提供一待处理版图，所述SRAF图像生成方法包括如下步骤：步骤S1：分析所述待处理版图中各边的对称性，选取具有对称性的边并将具有相同对称性的边进行分组；步骤S2：以边的分组为单位，根据预设的SRAF点范围划定规则，确定归属于每组中各对称性边的SRAF点生成范围；步骤S3：设定SRAF点之间的间隔距离，在所述每组中各对称性边的SRAF点生成范围中，以所述间隔距离生成SRAF点，并标记每个SRAF点所属的父边及对应SRAF点的标签；步骤S4：获取每个SRAF点的邻近边状态，保留仅有父边的SRAF点；针对具有邻近边的SRAF点，则比较对应SRAF点到父边和到邻近边的距离，保留到父边距离小于等于到邻近边距离的SRAF点；及步骤S5：对步骤S4中所保留的SRAF点进行运算生成SRAF图像；其中，对所保留的SRAF点中具有相同标签的SRAF点进行的运算相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳晶源信息技术有限公司 一种SRAF图像的生成方法、系统及其电子装置
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