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申请/专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日：2021-08-18
公开（公告）日：2024-04-26
公开（公告）号：CN113675302B
主分类号：H01L31/20
分类号：H01L31/20;H01L31/02;H01L31/0747
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.04.26#授权;2021.12.07#实质审查的生效;2021.11.19#公开
摘要：本发明属于太阳能电池技术领域，尤其涉及一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池，加工方法包括以下步骤：在硅衬底的正面、背面分别沉积非晶硅本征层；在正面的非晶硅本征层上沉积第一传输层，在背面的非晶硅本征层上沉积第二传输层；分别在第一传输层和第二传输层上沉积多层TCO膜层，其中，位于最外侧的TCO膜层掺杂有金属氧化物，且金属氧化物的质量比重在0.5％至5.5％范围内；分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极。制备而成的HJT太阳能电池可以获得较佳的结合力，在制备或者使用过程中能有效避免发生栅线脱落的情况，且能获得较高的栅线拉力，同时能获得较大的退火窗口，有利于加工制造，另外无需使用单独的镀铜工艺腔，大大降低了生产成本。
主权项：1.一种HJT电池的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：在硅衬底的正面、背面分别沉积非晶硅本征层；在正面的非晶硅本征层上沉积第一传输层，在背面的非晶硅本征层上沉积第二传输层；分别在所述第一传输层和所述第二传输层上沉积多层TCO膜层，其中，位于最外侧的TCO膜层掺杂有金属氧化物，且金属氧化物的质量比重在0.5％至5.5％范围内；所述金属氧化物包含有银、镍、锡，且银、镍、锡的比例为60％、20％、20％；分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极；所述分别在最外侧的TCO膜层上制备金属电极的步骤，具体包括：分别在最外侧的TCO膜层上镀金属种子层；分别在所述金属种子层上沉积金属栅线；分别在所述金属栅线上沉积金属保护层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司 一种HJT电池的加工方法以及一种HJT电池
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