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申请/专利权人：安徽至博光电科技股份有限公司
摘要：本发明公开了一种加速度传感器及其测量方法，属于光学传感技术领域。包括光源模块、换能模块、敏感元件和光电探测模块。本发明通过超表面的微纳结构对光场偏振进行调控，基于马吕斯定律，并结合加速度传感结构，实现对加速度的高灵敏度测量；通过超表面材料技术实现对线偏振准直光的编码和检偏，进而转化为光电探测模块的直接探测来求解外界振动的加速度，其测量精度更高，无需在光路中增加相位调制器、后端高精度解调模块和复杂的解调算法即可实现对加速度的高精度探测，降低了传感器的制造成本，也简化了制造和维护过程，具有结构简单、测量方法便捷、测量精度高、本质安全等优点。
主权项：1.一种加速度传感器，其特征在于：包括用于产生线偏振准直光的光源模块、将外界的振动加速度转化为相对于传感器同比运动位移量的换能模块、敏感元件和用于将光信号转化为电信号并探测所述光信号光强大小的光电探测模块；所述敏感元件包括用于将线偏振准直光编码为偏振态空间变化结构光的第一偏振编码超表面光栅和用于检测所述结构光偏振态的第二偏振编码超表面光栅；所述第一偏振编码超表面光栅与所述换能模块一端固定连接；所述第二偏振编码超表面光栅与传感器固定连接；外界振动带动所述换能模块和固定于所述换能模块一端的第一偏振编码超表面光栅同步产生相对于传感器的同比运动位移量Δx，所述光源模块产生线偏振准直光进入所述敏感元件的第一偏振编码超表面光栅，经第一偏振编码超表面光栅编码为偏振态空间变化结构光后进入第二偏振编码超表面光栅，经第二偏振编码超表面光栅检测所述结构光的偏振态后输出光信号至光电探测模块，由光电探测模块将光信号转化为电信号并探测出所述光信号的光强信号，通过马吕斯定律计算出所述第二偏振编码超表面光栅相对于第一偏振编码超表面光栅的相对位移Δx，结合换能模块的有阻尼单自由度稳态运动方程求解出外界的振动加速度。
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权利要求：
百度查询： 安徽至博光电科技股份有限公司 一种加速度传感器及其测量方法
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