龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
申请日：2022-11-23
公开（公告）日：2024-05-24
公开（公告）号：CN118073511A
主分类号：H01L33/62
分类号：H01L33/62;C23C14/24;C23C14/22;C23C14/16
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.11#实质审查的生效;2024.05.24#公开
摘要：本申请提供一种PAD电极层制备方法及离子束辅助蒸镀设备，离子束辅助蒸镀设备用于制备PAD电极层，方法包括：提供一主体芯片，主体芯片包括衬底层、外延层、透明导电层、P内接触电极层、N内接触电极层以及钝化保护层；钝化保护层覆盖P内接触电极层与N内接触电极层；通过刻蚀至少钝化保护层以露出P内接触电极层以及N内接触电极层；以离子束辅助蒸镀的方式至少在P内接触电极层以及N内接触电极层上沉积PAD电极层，由于高动能的荷能离子与沉积原子的级联碰撞效应，从而可以提升PAD电极层的致密性、稳定性，以增加焊接金线时产生的金球与PAD电极之间的共金面积，提升芯片寿命及产品可靠性。
主权项：1.一种微型发光二极管芯片的PAD电极层制备方法，其特征在于，所述方法包括：提供一主体芯片，所述主体芯片包括衬底层、外延层、透明导电层、P内接触电极层、N内接触电极层以及钝化保护层；所述钝化保护层覆盖所述P内接触电极层与所述N内接触电极层；通过刻蚀至少所述钝化保护层以露出所述P内接触电极层以及所述N内接触电极层；以离子束辅助蒸镀的方式至少在所述P内接触电极层以及所述N内接触电极层上沉积PAD电极层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆康佳光电技术研究院有限公司 PAD电极层制备方法及离子束辅助蒸镀设备
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号