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申请/专利权人：睿励科学仪器(上海)有限公司
申请日：2024-03-20
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN118156206A
主分类号：H01L21/683
分类号：H01L21/683;H01L21/687
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.07#公开
摘要：本发明公开了一种晶圆载具及其控制方法、晶圆处理设备，其中晶圆载具包括承载吸盘、吸附升降组件及多个吸附组件。其中，承载吸盘具有吸附面，吸附面上分布有吸盘孔。吸附升降组件包括升降装置及多个吸附装置，多个吸附装置围绕承载吸盘的中心嵌设于承载吸盘内，且与升降装置的一端连接。多个吸附组件围绕承载吸盘的外围间隔设置于底座。其中，多个吸附组件与承载吸盘能够在沿垂直于承载吸盘的吸附面的方向上进行相对升降运动。进而，本发明能够采用同一晶圆载具实现对普通晶圆、蓝膜晶圆两种类型晶圆的测试，有利于测试效率的提高。
主权项：1.一种晶圆载具，其特征在于，包括：承载吸盘，具有吸附面，所述吸附面上分布有吸盘孔；吸附升降组件，包括升降装置及多个吸附装置，所述多个吸附装置围绕所述承载吸盘的中心嵌设于所述承载吸盘内，并与所述升降装置的一端连接；多个吸附组件，围绕所述承载吸盘的外围间隔设置于底座；其中，所述多个吸附组件与所述承载吸盘能够沿垂直于所述承载吸盘的吸附面的方向上进行相对升降运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 睿励科学仪器(上海)有限公司 一种晶圆载具及其控制方法、晶圆处理设备
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