申请/专利权人：中国科学院重庆绿色智能技术研究院

申请日：2023-11-17

公开（公告）日：2024-06-07

公开（公告）号：CN117589083B

主分类号：G01B11/24

分类号：G01B11/24

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.07#授权;2024.03.12#实质审查的生效;2024.02.23#公开

摘要：本发明提供一种在位精密检测微光学元件结构面型的方法，包括：将白光干涉仪放置于机床的第一旋转轴上，将工件放置于机床的第二旋转轴上；调整白光干涉仪镜头光轴与机床第二旋转轴中心重合；对工件进行加工，保持工件在第二旋转轴上的位置不发生变化；白光干涉仪响应于机床发送的触发信号，按照规划的移动路径对加工后工件的结构面型进行多次拍摄；结构面型包括平缓结构和陡峭结构。还提供了一种在位精密检测微光学元件结构面型装置，包括：机床，白光干涉仪，拼接路径规划及控制系统和图形拼接合成软件。本发明可以实现对微光学元件进行在位精密检测，更好的辅助微光学元件的高精度加工。

主权项：1.一种在位精密检测微光学元件结构面型方法，其特征在于，包括：将白光干涉仪放置于机床的第一旋转轴上，将工件放置于机床的第二旋转轴上；调整白光干涉仪镜头光轴与机床第二旋转轴中心重合；对工件进行加工，保持工件在第二旋转轴上的位置不发生变化；白光干涉仪响应于机床发送的触发信号，按照规划的移动路径对加工后工件的结构面型进行多次拍摄；所述结构面型包括陡峭结构；在检测陡峭结构时，白光干涉仪的移动路径和拍摄方式如下：白光干涉仪分别沿机床的两个直线位移轴和第一旋转轴进行移动，移动路径的初始坐标点为x0，y0，z0，B0，C0，在初始坐标点拍摄完成后移动到下一坐标点x1，y0，z1，B1，C0拍摄；经多次移动坐标点后白光干涉仪到此横向最后一点结构位置xn，y0，zn，Bn，C0拍摄；将第二旋转轴旋转一角度，将白光干涉仪先移动到初始位置x0，y0，z0，B0，C1拍摄，然后移动到下一点坐标x1’，y0，z1’，B1’，C1拍摄，按照此方式依次运动到横向最后一点位置xn’，y0，zn’，Bn’，C1拍摄；依次转动第二旋转轴的角度，直至全部结构拍摄完成；对于陡峭结构，规划的白光干涉仪移动路径，其坐标点满足以下关系：坐标点在X轴，B轴满足以下方程： Bn＝f′x′n，x′n＝x0+n×tx在上式中，S为点A0与点B0的距离，点A0为白光干涉仪镜头虚拟焦点，点B0为B轴旋转轴本身旋转中心，θ为A0与B0连线与Z轴移动方向的夹角，tx为X方向的拍摄移动步长，取值范围根据白光干涉仪镜头拍摄视场范围确定；n表示第n个坐标点；x0为初始坐标点；坐标点在Z轴满足以下方程：zn＝z0-2×fx′n，0+S×cosθ-S×cosBn+θ 在上式中，z0为在Z轴上的初始坐标点，R为曲面曲率半径，x为坐标点，k为圆锥系数常数项，ai为非球面高阶系数。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 在位精密检测微光学元件结构面型的方法及装置

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