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申请/专利权人：江苏国铭达精密技术有限公司
申请日：2023-09-01
公开（公告）日：2024-06-14
公开（公告）号：CN221149945U
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/677
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.14#授权
摘要：本实用新型公开的属于芯片蚀刻技术领域，具体为一种芯片蚀刻机，其包括箱体和储液箱，所述箱体内腔的底部设置有放置框，所述放置框的顶部设置有若干个芯片槽，所述储液箱设置在箱体的顶部，所述储液箱的侧壁设置有导液管，所述导液管的一端连接有喷射器，本申请文件中，在对芯片腐蚀去除毛刺的过程中，便于对多个芯片进行分类喷射腐蚀液，喷射效果均匀，去除芯片毛刺的效果较好，同时能够减少腐蚀液喷射时飞溅在内壁上，提高装置的防护性。
主权项：1.一种芯片蚀刻机，其特征在于：包括箱体100和储液箱200，所述箱体100内腔的底部设置有放置框110，所述放置框110的顶部设置有若干个芯片槽120，所述储液箱200设置在箱体100的顶部，所述储液箱200的侧壁设置有导液管210，所述导液管210的一端连接有喷射器220，所述喷射器220的底部设置有喷射头230，所述箱体100内腔的顶部设置有直线电机240，所述直线电机240的滑块上设置有电动伸缩杆250，所述电动伸缩杆250的一端与喷射器220连接，所述喷射器220的底部设置有防护框260。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏国铭达精密技术有限公司 一种芯片蚀刻机
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