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一种用于高精密金属掩模版载具蚀刻后的清洗装置 

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申请/专利权人:拓维光电材料(滁州)有限公司

摘要:本发明公开一种用于高精密金属掩模版载具蚀刻后的清洗装置,属于金属掩模版生产领域;清洗装置用于清洗载具,载具上设置有固定板以及能够滑动调节的支撑板,载具上开设有滑道,支撑板与滑道滑动配合,所述清洗装置包括箱体,箱体内设置有网板,载具定位安装在网板上;箱体上设置有两个能够同步反向滑动的安装架,安装架上设置有两列喷洒管,两列喷洒管之间设置有卡块组件,卡块组件上设置有能够升降的连接板,连接板的下方设置有能够与支撑板卡合的卡块,此时两列喷洒管喷洒出的水能够作用于支撑板及其两侧,在支撑板随着安装架往复滑动时,喷洒管能够将水喷入整个滑道内,避免部分滑道被支撑板遮挡而无法被喷淋清洗。

主权项:1.一种用于高精密金属掩模版载具蚀刻后的清洗装置,用于清洗载具(1),载具(1)上设置有固定板(13)以及能够滑动调节的支撑板(12),载具(1)上开设有滑道(12),支撑板(11)与滑道(12)滑动配合,其特征在于,所述清洗装置包括箱体(2),箱体(2)内设置有网板(3),载具(1)定位安装在网板(3)上;所述箱体(2)上设置有两个能够同步反向滑动的安装架(41),安装架(41)上设置有两列喷洒管(42),两列喷洒管(42)之间设置有卡块组件(6),卡块组件(6)上设置有能够升降的连接板(62),连接板(62)的下方设置有能够与支撑板(11)卡合的卡块(63),此时两列喷洒管(42)喷洒出的水能够作用于支撑板(11)及其两侧。

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