申请/专利权人：安徽皓视光电科技有限公司

申请日：2020-09-10

公开（公告）日：2024-06-21

公开（公告）号：CN112098418B

主分类号：G01N21/88

分类号：G01N21/88;G01N21/01

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.21#授权;2021.01.05#实质审查的生效;2020.12.18#公开

摘要：本发明公开了一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构和AOI检测装置，该角度补正机构包括吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组底部固定连接；丝杆滑轨模组能够驱动摆臂旋转模组带动吸盘吸附模组吸附玻璃，使玻璃在气浮条件下进行水平角度补正范围在‑1.5°至1.5°；其中，丝杆滑轨模组运动精度为0.1‑0.4um，摆臂旋转模组的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分。该角度补正机构能够对玻璃基板进行微调，实现对玻璃基板的角度补正，从而提高玻璃基板中缺陷的检出率。

主权项：1.一种基于气浮传输下玻璃基板的角度补正机构，其特征在于，包括丝杆滑轨模组、摆臂旋转模组和吸盘吸附模组；所述吸盘吸附模组能够将气浮条件下玻璃基板吸附在吸盘上；所述摆臂旋转模组一端与所述丝杆滑轨模组的运动端连接，另一端与吸盘吸附模组底部固定连接；所述丝杆滑轨模组能够驱动摆臂旋转模组带动吸盘吸附模组吸附玻璃在水平面上进行角度补正-1.5°至1.5°；其中，所述丝杆滑轨模组运动精度为0.1-0.4um，摆臂旋转模组的旋转精度在±0.02分，从而使得玻璃旋转精度为±0.02分；所述丝杆滑轨模组包括：角度调整底板、导轨滑块I、电机固定板、电机、联轴器、支撑座、丝杆和螺帽座；所述角度调整底板上设置有沿丝杆轴向延伸的滑轨，导轨滑块I设置于滑轨上；所述螺帽座设置于导轨滑块I上，所述螺帽座通过螺帽内部滚子与丝杆连接，所述电机正反向旋转通过联轴器带动所述丝杆正反向转动以带动螺帽内部滚子环绕丝杆转动从而带动所述螺帽座沿所述丝杆的轴向前后运动，使得所述螺帽座的运动精度为0.1-0.4um；所述螺帽座与所述摆臂旋转模组连接；所述摆臂旋转模组，包括导轨滑块II、摆臂心轴、轴承、摆臂、旋转心轴、旋转心轴支撑座和旋转心轴固定座；停止精度为±0.05°，配合导程为1-3mm的丝杆，使得螺帽座在导轨滑块I上沿丝杆轴线方向前后8-12mm时，运动精度达到0.1-0.4um；导轨滑块Ⅱ与摆臂心轴连接，摆臂一端与摆臂心轴通过轴承连接另一端与旋转心轴过盈连接，旋转心轴与旋转心轴支撑座通过两端轴承连接，旋转心轴固定座一端固定在丝杆滑轨模组中的角度调整底板上，另一端与旋转心轴支撑座连接；并且螺帽座与导轨滑块II连接，使得螺帽座做前后往复运动时以驱动摆臂做左右旋转运动，这时导轨滑块II同时也在导轨做前后直线运动。

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