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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
申请日：2023-12-21
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248584A
主分类号：H01L21/67
分类号：H01L21/67;H01L21/02;B08B1/12
优先权：["20221223 JP 2022-207535"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：基板清洗装置包含下表面刷、支承部件、第1致动器及载荷检测部。下表面刷对基板的下表面进行清洗。支承部件支承下表面刷。第1致动器通过使支承部件升降而对从下表面刷向基板的载荷进行调整。载荷检测部设置在支承部件与第1致动器之间，检测支承部件与第1致动器之间的载荷。或者，基板清洗装置取代载荷检测部而包含其他载荷检测部，其设置在下表面刷的刷主体与刷底座之间，检测刷主体与刷底座之间的二维载荷的分布。
主权项：1.一种基板清洗装置，其特征在于，包括：下表面刷，其对基板的下表面进行清洗；支承部，其支承所述下表面刷；第1致动器，其通过使所述支承部升降来调整从所述下表面刷向所述基板的载荷；以及载荷检测部，其设置在所述支承部与所述第1致动器之间，检测所述支承部与所述第1致动器之间的载荷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板清洗装置及基板清洗方法
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