龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日：2022-12-16
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN117321740B
主分类号：H01L21/3065
分类号：H01L21/3065;H01L21/31;C23C16/44
优先权：["20211222 JP 2021-208673"]
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2024.01.16#实质审查的生效;2023.12.29#公开
摘要：一种基板处理装置的维护方法，所述基板处理装置具备腔室以及向所述腔室的内部供给处理气体的气体供给部，所述维护方法包括以下工序：工序a，从所述气体供给部向所述腔室的内部供给第一处理气体，来在所述腔室的内部的构件的表面形成保护膜；以及工序b，在所述工序a之后，将所述腔室的内部开放为大气气氛来进行所述基板处理装置的维护。
主权项：1.一种基板处理装置的维护方法，所述基板处理装置具备腔室以及向所述腔室的内部供给处理气体的气体供给部，所述维护方法包括以下工序：工序a，从所述气体供给部向所述腔室的内部供给第一处理气体，来在所述腔室的内部的构件的表面形成保护膜；以及工序b，在所述工序a之后，将所述腔室的内部开放为大气气氛来进行所述基板处理装置的维护，其中，在基板处理之后进行所述工序a。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置的维护方法和基板处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号