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【发明授权】高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构_西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)_202111553884.X 

申请/专利权人:西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所)

申请日:2021-12-17

公开(公告)日:2024-06-21

公开(公告)号:CN114084870B

主分类号:B81C1/00

分类号:B81C1/00

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.21#授权;2022.03.15#实质审查的生效;2022.02.25#公开

摘要:本发明公开了一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构,解决了如何完成薄壳器件盖板在真空环境下精确拾取并保证盖板在放下过程中不会受冲击力而发生变形的问题。在直线电机的向下输出轴上连接一个浮动的薄壳类盖板的拾取模具,通过直线电机向下输出轴的轴端与轴端套筒的浮动配合,克服拾取模具与被拾取的薄壳类盖板之间的接触冲击力,并在浮动的拾取模具与直线电机的密封腔体下端设置波纹管管套,实现对接触冲击力的二次吸收;另外,在拾取模具与直线电机的密封腔体之间设置方形愣柱导向杆,起到了有效防止拾取模具在拾取薄壳类盖板时发生转动现象的发生,从而大大提高了拾取的定位准确率,为后续工艺进行奠定了定位基础。

主权项:1.一种高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构,包括高真空腔体,在高真空腔体中的工作台上设置有托盘,在托盘中设置有薄壳器件盖板(210),其特征在于,在薄壳器件盖板(210)正上方的高真空腔体内,固定设置有直线电机密封室(201),直线电机密封室(201)是固定设置在直线电机密封室安装板(202)上的,在直线电机密封室(201)中设置有直线电机(203),直线电机(203)的输出轴(217)向下穿出到直线电机密封室安装板(202)的下方;在直线电机(203)的输出轴(217)的正下方,设置有电磁铁安装盒吊接板(207),在电磁铁安装盒吊接板(207)的顶端面中央处,固定设置有轴端套接筒(219),在轴端套接筒(219)的侧壁上,沿上下竖直方向,对应设置有一对长条通孔(220),在直线电机(203)的输出轴(217)的下端,设置有连接销孔,直线电机(203)的输出轴(217)的下端,活动穿接在轴端套接筒(219)中,在输出轴(217)的下端设置的连接销孔与一对长条通孔(220)之间,穿接有连接销(218);在电磁铁安装盒吊接板(207)的下底面上,吊接有电磁铁安装盒(208),在电磁铁安装盒(208)下底面上,连接有拾取模具(209),在电磁铁安装盒(208)中设置有电磁铁(216);在直线电机(203)的输出轴(217)和轴端套接筒(219)的外侧,套接有波纹管套(205),波纹管套(205)的上端,通过波纹管套上端法兰(204),固定连接在直线电机密封室安装板(202)的下底面上,波纹管套(205)的下端,通过波纹管套下端法兰(206),固定连接在电磁铁安装盒吊接板(207)的上顶面上。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 西北电子装备技术研究所(中国电子科技集团公司第二研究所) 高真空状态下薄壳器件盖板组合式拾取机构

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