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申请/专利权人：拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司
申请日：2023-09-26
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN117173255B
主分类号：G06T7/80
分类号：G06T7/80
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权;2023.12.22#实质审查的生效;2023.12.05#公开
摘要：本发明提供了一种多相机位置的标定方法、系统及晶圆键合检测设备。该多相机位置的标定方法包括以下步骤：利用多个相机采集同一晶圆的多幅边缘图像；根据各边缘图像，分别确定晶圆的多组边缘信息，其中，边缘信息包括各边缘图像中的至少一个边缘点的第一坐标；根据晶圆的理论圆圆心的第二坐标，以及各边缘点的第一坐标，分别确定理论圆圆心与各边缘点之间的特征距离；经由梯度下降模型，分别求解使各边缘图像的特征距离与晶圆的半径的差值最小的优化结果，以分别确定各相机与理论圆圆心的相对位置；以及根据各相机与理论圆圆心的相对位置，确定多个相机之间的相对位置关系。
主权项：1.一种多相机位置的标定方法，其特征在于，包括以下步骤：利用多个相机采集同一晶圆的多幅边缘图像；根据各所述边缘图像，分别确定所述晶圆的多组边缘信息，其中，所述边缘信息包括各所述边缘图像中的至少一个边缘点在对应图像坐标系中的第一坐标；根据世界坐标系与各所述图像坐标系的相对位置关系，分别确定各所述边缘图像中的至少一个所述边缘点在所述世界坐标系中的第三坐标；根据所述晶圆的理论圆圆心在所述世界坐标系中的第二坐标，以及各所述边缘点在所述世界坐标系中的第三坐标，分别确定所述理论圆圆心与各所述边缘点之间的特征距离；经由梯度下降模型，分别求解使各所述边缘图像的特征距离与所述晶圆的半径的差值最小的优化结果，以分别确定各所述相机与所述理论圆圆心的相对位置；以及根据各所述相机与所述理论圆圆心的相对位置，确定所述多个相机之间的相对位置关系。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司 多相机位置的标定方法、系统及晶圆键合检测设备
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