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申请/专利权人：江苏新源太阳能科技有限公司
申请日：2023-09-22
公开（公告）日：2024-06-21
公开（公告）号：CN221201184U
主分类号：H01L31/0216
分类号：H01L31/0216
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.21#授权
摘要：本实用新型公开了一种新型晶硅电池背面钝化膜，包括第一钝化膜层、第二钝化膜层和第三钝化膜层，第一钝化膜层和晶硅电池的基体硅接触后，反应形成一层SiO2，提供化学钝化，同时基体硅中电子向第一钝化膜层移动，从而在晶硅电池的基体硅表面产生一个空穴富集层，即p+层，间接地降低了基体硅表面的少子浓度，从而降低了复合；第二钝化膜层的化学稳定性高，可以提高第一钝化膜层电荷稳定性，加强场钝化效应；第三钝化膜层提升第二钝化膜层成膜均匀性，提高钝化效果，同时，能够起到隔离“氢”的作用，使得第二钝化膜层等产生的“氢”在高温退火后只能向硅衬底内移动，不能向外溢出，增强“氢钝化”效果。
主权项：1.一种新型晶硅电池背面钝化膜，其特征在于：包括与晶硅电池背光面即下表面接触的第一钝化膜层1，所述第一钝化膜层1的另一面由内至外依次层叠有第二钝化膜层2和第三钝化膜层3；所述第一钝化膜层1的材料为氧化钨、氧化铝、氧化镓、氧化钒、氧化锆或氧化钼中的一种；所述第二钝化膜层2的材料为氮化硅或者碳化硅；所述第三钝化膜层3的材料为氮化硅或者非晶硅。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏新源太阳能科技有限公司 一种新型晶硅电池背面钝化膜
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