申请/专利权人:深圳市雕拓科技有限公司
申请日:2023-09-25
公开(公告)日:2024-06-21
公开(公告)号:CN221200226U
主分类号:G03F7/00
分类号:G03F7/00
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.21#授权
摘要:本实用新型涉及压印设备技术领域,公开了一种用于纳米压印设备的定位装置,包括固定座、与固定座同轴设置的伸缩组件、以及周向设置于固定座四周并用于驱动伸缩组件沿固定座轴向往返运动的驱动组件;伸缩组件包括真空腔体,以及与真空腔体相配合的对准组件;真空腔体的顶部同轴设置有承载部,承载部的端面设置有吸附部和透光部,且承载部外延于固定座的上表面。以此结构设计的定位装置,通过承载部的伸缩,不仅方便工件的取放和定位,而且还能够通过对准组件的设置,辅助定位后的工件与外部工件之间的对准。
主权项:1.一种用于纳米压印设备的定位装置,其特征在于,包括固定座、与所述固定座同轴设置的伸缩组件、以及周向设置于所述固定座四周并用于驱动所述伸缩组件沿所述固定座轴向往返运动的驱动组件;所述伸缩组件包括真空腔体,以及与所述真空腔体相配合的对准组件;所述真空腔体的顶部同轴设置有承载部,所述承载部的端面设置有吸附部和透光部,且所述承载部外延于所述固定座的上表面。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 深圳市雕拓科技有限公司 一种用于纳米压印设备的定位装置
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