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申请/专利权人：隆基绿能科技股份有限公司
申请日：2022-12-22
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118240626A
主分类号：C11D1/72
分类号：C11D1/72;C11D3/20;C11D3/30;C11D3/33;C11D3/60;C11D11/00;H01L21/02;B08B3/08
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本公开涉及一种硅片清洗添加剂和硅片清洗方法，硅片清洗添加剂包含表面活性剂、有机碱和络合剂，表面活性剂选自聚乙二醇衍生物和或醚，醚包括不饱和醚和或聚氧乙烯醚。该硅片清洗添加剂包含高渗透性的表面活性剂，能够提高清洗剂溶液对硅片的浸润能力，有效提高清洗效率，降低脏污片比率。
主权项：1.一种硅片清洗添加剂，其特征在于，所述硅片清洗添加剂包含表面活性剂、有机碱和络合剂，所述表面活性剂选自聚乙二醇衍生物和或醚，所述醚包括不饱和醚和或聚氧乙烯醚。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 隆基绿能科技股份有限公司 硅片清洗添加剂和硅片清洗方法
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