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申请/专利权人：北京绿能芯创电子科技有限公司
申请日：2023-11-14
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221226194U
主分类号：H01L21/68
分类号：H01L21/68;H01L21/687
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型提供了一种晶圆限位结构及晶圆卡盘,包括卡盘销，所述卡盘销顶部设置有竖直部和倾斜部，所述竖直部不设置在所述卡盘销顶部中心处，所述倾斜部倾斜设置在所述竖直部的顶端，所述倾斜部由下至上逐渐远离所述卡盘销的中心轴线，所述卡盘销底部设置有齿轮，所述卡盘销能够绕其中心轴线转动。本实用新型通过采用晶圆限位结构的倾斜部，可以有效增大卡盘销安全范围，避免手臂放置晶圆时超出卡盘销的安全范围而发生破损，能够有效减少破片带来的经济损失。本实用新型通过旋转卡盘销使得竖直部靠近或远离晶圆，从而实现夹紧或松开晶圆，能够把晶圆有效的限制在安全范围内，在高速转动过程中不会因限位问题而转出安全位置。
主权项：1.一种晶圆限位结构，其特征在于，包括卡盘销1，所述卡盘销1顶部设置有竖直部2和倾斜部3，所述竖直部2不设置在所述卡盘销1顶部中心处，所述倾斜部3倾斜设置在所述竖直部2的顶端，所述倾斜部3由下至上逐渐远离所述卡盘销1的中心轴线，所述卡盘销1底部设置有齿轮4，所述卡盘销1能够绕其中心轴线转动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京绿能芯创电子科技有限公司 晶圆限位结构及晶圆卡盘
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