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申请/专利权人：浙江昕微电子科技有限公司
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118263182A
主分类号：H01L21/687
分类号：H01L21/687;H01L21/683;H01L21/68
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明适用于晶圆搬运技术领域，提供了晶圆对准方法及其搬运机械手臂，包括：支撑台，所述支撑台的上端设置有旋转调节组件，所述旋转调节组件的上端设置有水平升降组件，所述水平升降组件的上端设置有牙叉移动组件，所述牙叉移动组件中设置有牙叉组件，通过设置牙叉组件，牙叉组件中设置真空吸泵，便于在牙叉对圆晶进行叉取时，通过真空吸泵在进行吸附，提高稳定性，避免掉落，通过设置伸缩杆，便于根据圆晶的尺寸对牙叉本体进行调节，以便使用于不同尺寸的圆晶使用，通过设置旋转调节组件、水平升降组件、牙叉移动组件、牙叉组件以及校准组件，便于提高效率。
主权项：1.晶圆搬运机械手臂，其特征在于，包括：支撑台1，所述支撑台1的上端设置有旋转调节组件2，所述旋转调节组件2的上端设置有水平升降组件3，所述水平升降组件3的上端设置有牙叉移动组件4，所述牙叉移动组件4中设置有牙叉组件5。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江昕微电子科技有限公司 晶圆对准方法及其搬运机械手臂
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