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一种新型TMV载板、制造工艺及应用 

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申请/专利权人:山东瑞启微电子科技有限公司

摘要:本发明公开一种新型TMV载板、制造工艺及应用,涉及芯片封装技术领域,准备非导电材料、多根导电柱状结构体;分别将多根导电柱状结构体穿过治具装置设置的多个导电柱通过孔,将非导电材料熔化后注入治具装置内部,等待非导电材料完全固化,多次横向切割新型TMV载板层叠体,得到多块新型TMV载板。本发明相比传统的多层载板制备方法,本发明采用的单层载板制备方法更加简便,不需要复杂的层叠和连接过程,从而降低了制造成本;制备成型的新型TMV载板具有良好的电气互联性和物理保护性能的特点;采用环氧塑封料作为载板的基础材料,可以大大减少由于材料间热失配而带来的翘曲变形,提高整体芯片封装的可靠性。

主权项:1.一种新型TMV载板制造工艺,其特征在于,包括以下步骤:步骤1,准备非导电材料、多根导电柱状结构体2;步骤2,分别将多根导电柱状结构体2穿过治具装置设置的多个导电柱通过孔12,达到设定穿过长度后,分别将多根导电柱状结构体2固定在治具装置上;步骤3,将非导电材料熔化后注入治具装置内部,通过注射的方式将熔化的非导电材料灌注到治具装置内部,使其充分覆盖多根导电柱状结构体2之间的空隙,并填充治具装置中的空隙;步骤4,等待非导电材料完全固化,去掉治具装置的下模件3,多次横向切割非导电材料与多根导电柱状结构体2形成的新型TMV载板层叠体,得到多块新型TMV载板。

全文数据:

权利要求:

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