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申请/专利权人：恪纳腾技术公司
摘要：本申请涉及一种使用设计者意图数据检查晶片和掩模版的方法和系统。一种计算机实现的方法包括基于检查掩模版所产生的检查数据，标识晶片上的干扰缺陷，在检查所述晶片之前，使用所述掩模版在所述晶片上形成图案。另一种计算机实现的方法包括通过结合代表掩模版的数据分析检查晶片所产生的数据来检测晶片上的缺陷，代表掩模版的数据包括标识所述掩模版不同类型部分的标记物。再一种计算机实现的方法包括基于更改了晶片上形成的器件的特性的缺陷，确定用来处理晶片的制造工艺的性能。又一种计算机实现的方法包括基于检查晶片所产生的数据，更改或者模拟集成电路设计的一个或更多个特性。
主权项：1.一种计算机实现的方法，所述方法包括：标识晶片上的坏裸片，其中，所述坏裸片包含一个或多个具有预先确定的范围以外的功能的电气元件；基于检查所述晶片所产生的数据，结合代表所述一个或多个电气元件的设计的信息，标识所述晶片上缺陷的第一部分和缺陷的第二部分，其中，所述缺陷的所述第一部分更改了由所述一个或多个电气元件形成的器件的特性，以致所述特性位于所述预先确定的限制以外；以及基于所述缺陷的所述第一部分确定用于处理所述晶片的制造工艺的性能。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 恪纳腾技术公司 使用设计者意图数据检查晶片和掩模版的方法和系统
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