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申请/专利权人：甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司
摘要：本实用新型提供一种单晶硅的掺杂设备，包括：单晶炉以及掺杂装置。单晶炉设有第一开口；掺杂装置包括外壳以及掺杂组件，外壳穿设于第一开口，掺杂组件设置于外壳内，且掺杂组件穿设于外壳，掺杂组件设有第二开口，当掺杂组件穿设于外壳时，在第一穿设范围内，第二开口处于第一状态，在第二穿设范围内，第二开口处于第二状态。本实用新型的单晶硅的掺杂设备能够提高单晶硅的掺杂效率。
主权项：1.一种单晶硅的掺杂设备，其特征在于，包括：单晶炉，所述单晶炉设有第一开口；掺杂装置，所述掺杂装置包括外壳以及掺杂组件，所述外壳穿设于所述第一开口，所述掺杂组件设置于所述外壳内，且所述掺杂组件穿设于所述外壳，所述掺杂组件设有第二开口，当所述掺杂组件穿设于所述外壳时，在第一穿设范围内，所述第二开口处于第一状态，在第二穿设范围内，所述第二开口处于第二状态。
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百度查询： 甘肃瓜州宝丰硅材料开发有限公司 单晶硅的掺杂设备
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