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申请/专利权人：上海汉虹精密机械有限公司
摘要：本发明涉及半导体技术领域。一种碳化硅炉用测温结构，包括籽晶轴心测温机构以及坩埚轴心测温机构，籽晶轴心测温机构以及坩埚轴心测温机构均包括测温仪以及支架；籽晶轴心测温机构包括上下设置的上水冷轴以及籽晶石墨轴，上水冷轴以及籽晶石墨轴均为中空轴；坩埚轴心测温机构包括上下设置的坩埚支撑轴以及下水冷轴，坩埚支撑轴以及下水冷轴均为中空轴，坩埚支撑轴的顶部与开设在热场的底部中心的开孔对接；上水冷轴的上端以及下水冷轴的下端均连接有用于正对测温仪的石英玻璃，上水冷轴的上端开孔与石英玻璃之间夹设有密封圈。本发明通过上下测温的相互配合，更容易实现对加热温度的监控，使控温更加精确。
主权项：1.一种碳化硅炉用测温结构，其特征在于，包括籽晶轴心测温机构以及坩埚轴心测温机构，所述籽晶轴心测温机构以及坩埚轴心测温机构均包括测温仪以及支架，所述支架上安装有所述测温仪；所述籽晶轴心测温机构包括上下设置的上水冷轴以及籽晶石墨轴，所述上水冷轴以及所述籽晶石墨轴均为中空轴；所述坩埚轴心测温机构包括上下设置的坩埚支撑轴以及下水冷轴，所述坩埚支撑轴以及下水冷轴均为中空轴，所述坩埚支撑轴的顶部与开设在热场的底部中心的开孔对接；所述上水冷轴的上端以及所述下水冷轴的下端均连接有用于正对测温仪的石英玻璃，所述上水冷轴的上端开孔与石英玻璃之间夹设有密封圈，所述下水冷轴的下端开孔与石英玻璃之间夹设有密封圈。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海汉虹精密机械有限公司 一种碳化硅炉用测温结构
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