龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：幂指科技(北京)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅晶体生长装置，包括坩埚，坩埚内部设置有加厚段，坩埚的中部均设置有中间凸起部，中间凸起部的底部向上开设有加热槽，坩埚的外侧设置有保温桶，保温桶的外侧设置有防护外壳，保温桶和坩埚之间设置有加热腔，加热腔的底部配合加热槽设置有底部加热器，且配合坩埚设置有升降支撑结构，加热腔的侧边设置有感应加热管，感应加热管的盘绕口径由上到下逐渐减小，坩埚的顶部设置有开口，开口处可升降设置有籽晶杆，籽晶杆的底部设置有籽晶体，本实用新型可以实现坩埚加热温度的调节，同时可以提高碳源的供给均匀性，同时可以避免坩埚被蚀穿的情况。
主权项：1.一种碳化硅晶体生长装置，包括坩埚（1），其特征是：所述坩埚（1）内部设置有加厚段（2），所述坩埚（1）的中部均设置有中间凸起部（3），所述中间凸起部（3）的底部向上开设有加热槽（4），所述坩埚（1）的外侧设置有保温桶（5），所述保温桶（5）的外侧设置有防护外壳（6），所述保温桶（5）和坩埚（1）之间设置有加热腔（7），所述加热腔（7）的底部配合加热槽（4）设置有底部加热器（8），且配合坩埚（1）设置有升降支撑结构，所述加热腔（7）的侧边设置有感应加热管（9），所述感应加热管（9）的盘绕口径由上到下逐渐减小，所述坩埚（1）的顶部设置有开口（10），所述开口（10）处可升降设置有籽晶杆（11），所述籽晶杆（11）的底部设置有籽晶体（12）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 幂指科技(北京)有限公司 一种碳化硅晶体生长装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号