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申请/专利权人：东京毅力科创株式会社
摘要：本发明涉及基板处理装置。提供能够提高抗震性的技术。本公开的一技术方案的基板处理装置具备：旋转台，其固定于旋转轴；基板保持件，其载置在所述旋转台上，将基板以水平姿势保持为多层；以及第1紧固构件，其将所述基板保持件固定在所述旋转台上，所述基板保持件具有载置在所述旋转台上的底板，所述第1紧固构件从上下方向夹着所述旋转台和所述底板，而将所述基板保持件固定在所述旋转台上。
主权项：1.一种基板处理装置，其中，该基板处理装置具备：旋转台，其固定于旋转轴；基板保持件，其载置在所述旋转台上，将基板以水平姿势保持为多层；以及第1紧固构件，其将所述基板保持件固定在所述旋转台上，所述基板保持件具有载置在所述旋转台上的底板，所述第1紧固构件从上下方向夹着所述旋转台和所述底板，而将所述基板保持件固定在所述旋转台上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东京毅力科创株式会社 基板处理装置
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