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申请/专利权人：日置电机株式会社
摘要：本发明提供一种阻抗测量装置，其能够抑制测量频率附近的噪声影响，而进行高精度测量。上述技术问题能够通过以下阻抗测量装置1等来解决。该阻抗测量装置1具备：信号发生部30，其生成第1参考信号、及按规定的反转周期反转第1参考信号的相位的第2参考信号；测量信号供给部10，其基于第2参考信号生成测量信号，并向测量对象供给测量信号；测量部20，其用于生成滤波信号，所述滤波信号是利用基于第1参考信号生成的调制信号对由测量信号在测量对象中生成的信号进行同步检波，并进行低通滤波后而生成的信号；运算部40，其基于第1参考信号和第2参考信号为同相时的滤波信号的大小、与对第1参考信号和第2参考信号为反相时的滤波信号进行符号反转后的大小的相加平均，求出测量对象的阻抗。
主权项：1.一种阻抗测量装置，其具备：信号发生部，其生成第1参考信号、及按规定的反转周期反转所述第1参考信号的相位而得到的第2参考信号；测量信号供给部，其基于所述第2参考信号生成测量信号，并向测量对象供给所述测量信号；测量部，其用于生成滤波信号，所述滤波信号是利用基于所述第1参考信号生成的调制信号对由所述测量信号在所述测量对象中生成的信号进行同步检波，并进一步进行低通滤波后而得到的信号；运算部，其基于所述第1参考信号和所述第2参考信号为同相时的所述滤波信号的大小、与对所述第1参考信号和所述第2参考信号为反相时的所述滤波信号进行符号反转后的大小的相加平均，求出所述测量对象的阻抗。
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