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用于量子芯片的片上滤波器及其制备方法、量子芯片 

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申请/专利权人:中国科学技术大学;合肥国家实验室

摘要:本发明提供了一种用于量子芯片的片上滤波器及其制备方法、量子芯片,涉及量子技术领域。量子芯片的片上滤波器包括:基片;第一导电层,包括在基片上设置的第一微带线电极;第一绝缘层,设置在第一导电层上;以及第二导电层,设置在第一绝缘层上,包括:第二微带线电极,与多个第一微带线电极对置,以通过第一绝缘层与第一微带线电极构成电容元件;以及纳米线电极,与第二微带线电极电连接,采用高动态电感材料制备,在环境温度低于高动态电感材料的超导转变温度的情况下,纳米线电极具有超导特性并作为电感元件,与电容元件配合形成滤波单元,对来自外部的电磁波进行选择性的传输,减少特定频率区间内的电磁波泄露。

主权项:1.一种用于量子芯片的片上滤波器,其特征在于,包括:基片;第一导电层,包括在所述基片上设置的第一微带线电极;第一绝缘层,设置在所述第一导电层上;第二导电层,设置在所述第一绝缘层上,包括:第二微带线电极,与多个所述第一微带线电极对置,以通过所述第一绝缘层与所述第一微带线电极构成电容元件;纳米线电极,与所述第二微带线电极电连接,采用高动态电感材料制备,在环境温度低于所述高动态电感材料的超导转变温度的情况下,所述纳米线电极具有超导特性并作为电感元件,与所述电容元件配合形成滤波单元,对来自外部的电磁波进行选择性的传输,减少所述电磁波泄露。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 中国科学技术大学 合肥国家实验室 用于量子芯片的片上滤波器及其制备方法、量子芯片

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