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申请/专利权人：华研芯测半导体(苏州)有限公司
摘要：本发明公开了一种描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电透镜，与电子源之间产生加速汇聚场，用于增加所述电子束的运动速度并对电子束进行第一次汇聚；第一磁透镜，用于对电子束进行第二次汇聚；第二磁透镜，用于对电子束进行第三次汇聚；第三磁透镜，用于对电子束进行第四次汇聚；维恩过滤器，用于保持入射的电子束不发生偏转，对信号电子发生偏转；偏转装置，包括两个磁偏器和一个电偏转器，用于改变所述电子束的运动方向；探测器，包括第一探测器和可移动式的第二探测器，用于对样品产生的信号电子进行探测；至少一个光阑；样品台，用于承载样品。本发明还提供一种扫描电子显微镜控制方法。
主权项：1.一种扫描电子显微镜，其特征在于，包括：电子源，用于产生一电子束；电透镜，用于与电子源之间产生加速汇聚场，增加所述电子束的运动速度并对电子束进行第一次汇聚；第一磁透镜，用于对经所述电透镜的电子束进行第二次汇聚；第二磁透镜，用于对经所述第一磁透镜的电子束进行第三次汇聚；第三磁透镜，用于对经所述第二磁透镜的电子束进行第四次汇聚；维恩过滤器，用于保持电子源产生的电子束不发生偏转，同时使样品产生的信号电子发生偏转并照射到第一探测器上；偏转装置，包括两个磁偏转器和一个电偏转器，位于第三磁透镜内部，与光轴同轴放置，用于改变所述电子束的运动方向；探测器，包括位于第三磁透镜上方的第一探测器和位于第三磁透镜下方的可移动式第二探测器，与所述探测器与光轴同轴放置，用于对样品产生的信号电子进行探测；至少一个光阑，对经过的电子束进行限束；样品台，用于放置被观测样品。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华研芯测半导体(苏州)有限公司 一种扫描电子显微镜及控制方法
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