龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：浙江最成半导体科技有限公司
摘要：本发明公开了一种溅射靶材组合体和装配方法，该溅射靶材组合体包括溅射靶材和背板，溅射靶材包括第一安装部，背板包括槽体。其中，第一安装部靠近槽体底部的一侧设有第一端面，第一端面包括凹陷部，预装配状态下，第一安装部至少部分位于槽体中，凹陷部与槽体底部保持预设间距，凹陷部设置为在装配过程中由压紧力作用向槽体底部靠近并且产生朝向槽体侧向的压延变形，第一端面在压延变形中形成压延部，压延部在装配状态下与槽体在侧向上咬合。该申请通过优化靶材与背板之间结构，显著提高了靶材与背板之间的咬合强度，增加了溅射靶材组合体结构的稳定性，并且可降低压紧过程所需压紧力。
主权项：1.一种溅射靶材组合体，包括溅射靶材（10）和背板（20），所述溅射靶材（10）包括第一安装部（120），所述背板（20）包括槽体（220），其特征在于，所述第一安装部（120）靠近所述槽体（220）底部的一侧设有第一端面（122），所述第一端面（122）包括凹陷部（1222），预装配状态下，所述第一安装部（120）至少部分位于所述槽体（220）中，所述凹陷部（1222）与所述槽体（220）底部保持预设间距，所述凹陷部（1222）设置为在装配过程中由压紧力作用向所述槽体（220）底部靠近并且产生朝向所述槽体（220）侧向的压延变形，所述第一端面（122）在压延变形中形成压延部，所述压延部在装配状态下与所述槽体在侧向上（220）咬合，所述槽体（220）和所述第一安装部（120）分别在所述背板（20）和所述溅射靶材（10）上环状延伸，沿所述环状径向截取所述槽体（220）和所述第一安装部（120），形成横向截面，在所述横向截面上所述凹陷部（1222）位于所述第一端面（122）的中间区域，所述凹陷部（1222）在预装配状态下为类锥形并且在装配过程中锥度不断变大。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江最成半导体科技有限公司 溅射靶材组合体及装配方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号