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申请/专利权人：安徽万维克林精密装备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆盒清洗提示系统以及方法，涉及清洗提示技术领域，本发明包括晶圆盒信息采集模块、晶圆盒信息分析模块、预清洗分析模块、复清洗方法分析模块、复清洗信息分析模块、报废信息分析模块，通过采集晶圆盒污染信息，提示员工对晶圆盒进行预清洗，预清洗后采集各晶圆盒的各污染处信息，针对各晶圆盒各污染处信息，选择对应复清洗方法，提示员工对各晶圆盒进行复清洗，根据晶圆盒清洗后的污染信息，得到各晶圆盒的清洗指数，进而得到报废率，在报废率高时进行警报，及时清洗污染，保障了生产线正常运转，同时预清洗降低了清洗的成本，针对性使用洗涤方法低了对晶圆盒的损坏。
主权项：1.一种晶圆盒清洗提示系统，其特征在于，包括如下模块：晶圆盒信息采集模块，用于对各晶圆盒污染信息进行采集；晶圆盒信息分析模块，用于对各晶圆盒污染信息进行分析，得到各晶圆盒污染指数，若某晶圆盒污染指数大于标准污染指数，记为预清洗盒，以此得到各预清洗盒，对各预清洗盒进行预清洗；预清洗信息分析模块，用于对预清洗后对各预清洗盒污染信息进行采集，对各预清洗盒污染信息进行分析，得到各预清洗盒污染指数，若某晶圆盒污染指数大于标准污染指数，记为待清洗盒，以此得到各待清洗盒；复清洗方法分析模块，用于对各待清洗盒各污染处信息进行采集，对各待清洗盒各污染处信息进行分析，得到各待清洗盒清洗方式，对各待清洗盒进行复清洗；复清洗信息分析模块，用于对复清洗后的各待清洗盒污染信息进行采集，对各待清洗盒污染信息进行分析，得到各待清洗盒污染指数，进而得到各待清洗盒清洗率，若某待清洗盒清洗率小于标准清洗率，记为报废盒，统计得到报废盒数量；报废信息分析模块，用于对报废盒数量进行分析，得到报废率，若报废率大于标准报废率，进行警报。
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