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图形修正方法 

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申请/专利权人:中芯国际集成电路制造(上海)有限公司

摘要:一种图形修正方法,包括:将初始版图进行第一划分,获得若干第一块区;基于若干第一块区对初始版图进行修正,获得第一修正版图,第一修正版图包括若干与块区图形对应的第一修正图形;在若干第一块区的若干块区图形中,获取若干第一特殊图形;根据第一特殊图形,在初始版图中确定若干跨区图形,跨区图形位于至少两个第一块区中;对初始版图进行第二划分,获取若干第二块区,一个跨区图形位于一个第二块区中;基于若干第二块区,获取若干跨区修正版图,各跨区修正版图块包括跨区修正图形,跨区修正图形与跨区图形相对应;基于若干跨区修正版图块对第一修正版图进行更新,获得目标版图,获得目标版图,在节约时间的同时提高了版图修正的准确性。

主权项:1.一种图形修正方法,其特征在于,包括:提供初始版图,所述初始版图包括若干设计图形;将所述初始版图进行第一划分,获得若干第一块区,各所述第一块区包括若干块区图形;基于若干所述第一块区对所述初始版图进行修正,获得第一修正版图,所述第一修正版图包括若干与所述块区图形对应的第一修正图形;在若干所述第一块区的若干所述块区图形中,获取若干第一特殊图形;根据所述第一特殊图形,在所述初始版图中确定若干跨区图形,所述跨区图形位于至少两个所述第一块区中;对所述初始版图进行第二划分,获取若干第二块区,一个所述跨区图形位于一个所述第二块区中;基于若干所述第二块区,获取若干跨区修正版图,各所述跨区修正版图块包括跨区修正图形,所述跨区修正图形与所述跨区图形相对应;基于若干所述跨区修正版图块对所述第一修正版图进行更新,获得目标版图。

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权利要求:

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