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申请/专利权人：德山化工(浙江)有限公司
摘要：本发明公开了一种精制三氯硅烷及其制造方法，包括将至少含有硼和磷的粗三氯硅烷加入充填了树脂吸附剂的吸附塔，所述粗三氯硅烷与所述树脂吸附剂接触制得硼、磷含量低的三氯硅烷；在将所述粗三氯硅烷加入吸附塔之前，先对吸附塔进行前置处理工序，所述前置处理工序包括将充填了树脂吸附剂的吸附塔内的温度控制在60℃以下，同时加入三氯硅烷的摩尔分率为0.5～15mol％的三氯硅烷‑氮气混合气体，经过所述前置处理工序后的吸附塔内的温度控制在‑20～20℃后，再加入所述粗三氯硅烷。本发明解决了现有的三氯硅烷的蒸馏精制和吸附精制组合法存在硼和磷的去除效果不佳，且容易发生歧化反应的问题。
主权项：1.一种精制三氯硅烷的制造方法，其特征在于，包括将至少含有硼和磷的粗三氯硅烷加入充填了树脂吸附剂的吸附塔，所述粗三氯硅烷与所述树脂吸附剂接触制得硼、磷含量低的三氯硅烷；在将所述粗三氯硅烷加入吸附塔之前，先对吸附塔进行前置处理工序，所述前置处理工序包括将充填了树脂吸附剂的吸附塔内的温度控制在60℃以下，同时加入三氯硅烷的摩尔分率为0.5～15mol％的三氯硅烷-氮气混合气体，经过所述前置处理工序后的吸附塔内的温度控制在-20～20℃后，再加入所述粗三氯硅烷。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 德山化工(浙江)有限公司 精制三氯硅烷及其制造方法
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