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申请/专利权人：重庆大学;中电科芯片技术(集团)有限公司
申请日：2023-12-11
公开（公告）日：2024-03-19
公开（公告）号：CN117723778A
主分类号：G01P5/24
分类号：G01P5/24;G01P13/02
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.04.05#实质审查的生效;2024.03.19#公开
摘要：本发明涉及一种基于pMUT的风速风向传感器，属于超声波传感器领域。该传感器共振腔、压电微机械超声换能器阵列单元、数据处理单元和底座。其中压电微机械超声换能器阵列单元与数据处理单元连接并配置于共振腔中；共振腔固定于底座上。其中，压电微机械超声换能器阵列单元包括三个呈等边三角形排列的压电微机械超声换能器。本发明采用压电微机械超声换能器可降低传感器的体积，同时结合数据处理单元可保证批量生产的一致性、稳定性，无需标定测试，能够降低生产成本。
主权项：1.一种基于pMUT的风速风向传感器，其特征在于：该传感器包括共振腔、压电微机械超声换能器阵列单元、数据处理单元和底座；所述压电微机械超声换能器阵列单元与数据处理单元连接并配置于所述共振腔中；所述共振腔固定于所述底座上；所述压电微机械超声换能器阵列单元包括三个呈等边三角形排列的压电微机械超声换能器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆大学;中电科芯片技术(集团)有限公司 基于pMUT的风速风向传感器
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