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申请/专利权人：广州乐仪投资有限公司
申请日：2022-11-03
公开（公告）日：2024-05-14
公开（公告）号：CN118023099A
主分类号：B06B1/06
分类号：B06B1/06;B81B7/02;B81C1/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.05.14#公开
摘要：本发明涉及具有减薄部的PMUT结构、其制造方法及包含其的电子设备。该PMUT结构包括：基底，基底设置有空腔；PMUT，包括第一电极层、压电层和第二电极层，压电层的一侧和另一侧分别设置第一电极层和第二电极层；至少一个空隙部，空隙部沿PMUT厚度方向贯穿至少压电层且与空腔在PMUT厚度方向至少部分重叠，空隙部的靠近空腔的开口端与空腔相通；和阻挡层，其中：阻挡层覆盖空隙部的远离空腔的开口端面。本发明还涉及一种PMUT结构的制造方法以及一种电子设备。
主权项：1.一种PMUT结构，包括：基底，基底设置有空腔；PMUT，包括第一电极层、压电层和第二电极层，压电层的一侧和另一侧分别设置第一电极层和第二电极层；至少一个空隙，所述空隙沿PMUT厚度方向贯穿至少所述压电层且与所述空腔在PMUT厚度方向至少部分重叠，所述空隙的靠近所述空腔的开口端与所述空腔相通；和阻挡层，其中：所述阻挡层覆盖所述空隙的远离所述空腔的开口端面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 广州乐仪投资有限公司 具有减薄部的PMUT结构、其制造方法及包含其的电子设备
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