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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
申请日：2017-07-05
公开（公告）日：2024-05-28
公开（公告）号：CN118091929A
主分类号：G02B26/00
分类号：G02B26/00;G02B5/28
优先权：["20160824 JP 2016-163916"]
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.14#实质审查的生效;2024.05.28#公开
摘要：本发明的法布里‑珀罗干涉滤光器1包括：基板11，其具有第一表面11a；第一积层体22，其具有配置于第一表面11a的第一反射镜部31；第二积层体24，其具有在相对于第一反射镜部31而在与基板11相反的一侧隔着空隙S而与第一反射镜部31相对的第二反射镜部32；及中间层23，其在第一积层体22与第二积层体24之间划定空隙S。中间层23的外侧面23b以如下方式弯曲：中间层23的基板11侧的缘部比中间层23的与基板11相反的一侧的缘部在与第一表面11a平行的方向上位于更靠向外侧的位置。第二积层体24覆盖中间层23的外侧面23b。
主权项：1.一种法布里-珀罗干涉滤光器，其中，包括：基板，其具有第一表面；第一层，其具有配置于所述第一表面的第一反射镜部；第二层，其具有在相对于所述第一反射镜部而在与所述基板相反的一侧隔着空隙而与所述第一反射镜部相对的第二反射镜部；及中间层，其在所述第一层与所述第二层之间划定所述空隙，并且，所述中间层的外侧面以如下方式向所述空隙侧呈凹状弯曲：所述中间层的所述基板侧的缘部比所述中间层的与所述基板相反的一侧的缘部在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，所述第一层的外侧面比所述中间层的所述外侧面在与所述第一表面平行的方向上位于更靠向外侧的位置，所述第一层的所述外侧面包括呈阶梯状的部分，所述第二层覆盖所述中间层的所述外侧面以及所述第一层的所述外侧面。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浜松光子学株式会社 法布里-珀罗干涉滤光器
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