申请/专利权人：电子科技大学

申请日：2024-01-16

公开（公告）日：2024-05-31

公开（公告）号：CN118112283A

主分类号：G01P15/03

分类号：G01P15/03

优先权：

专利状态码：在审-实质审查的生效

法律状态：2024.06.18#实质审查的生效;2024.05.31#公开

摘要：本申请提供一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计，包括：硅微机械振子结构、光子晶体微腔结构和硅波导结构；所述光子晶体微腔结构包括：结构相同的第一光子晶体微腔结构和第二光子晶体微腔结构；所述第一光子晶体微腔结构包括：第一光子晶体结构、第二光子晶体结构、以及第一空气槽；所述硅波导结构包括：结构相同的第一硅波导结构和第二硅波导结构；所述第一硅波导结构包括：第一直波导、第一渐变波导、第一光子晶体波导、第一光子晶体波导‑微腔耦合结构、第二光子晶体波导、第二渐变波导和第二直波导；具有探测精度与灵敏度较高的有益效果；适用于惯性测量的技术领域。

主权项：1.一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计，其特征在于，包括：硅微机械振子结构、光子晶体微腔结构和硅波导结构；所述光子晶体微腔结构包括：第一光子晶体微腔结构（13a）和第二光子晶体微腔结构（13b）；所述第一光子晶体微腔结构（13a）和第二光子晶体微腔结构（13b）对称设置在所述硅微机械振子结构上；所述第一光子晶体微腔结构（13a）包括：第一光子晶体结构（6a）、第二光子晶体结构（6b）、以及设置在第一光子晶体结构（6a）与第二光子晶体结构（6b）之间的第一空气槽（7a）；所述第二光子晶体微腔结构（13b）包括：第三光子晶体结构（6c）、第四光子晶体结构（6d）、以及设置在第三光子晶体结构（6c）与第四光子晶体结构（6d）之间的第二空气槽（7b）；所述硅波导结构包括：第一硅波导结构和第二硅波导结构；所述第一硅波导结构包括：沿第一光子晶体微腔结构（13a）射入、射出方向布置的第一直波导（8a）、第一渐变波导（9a）、第一光子晶体波导（10a）、第一光子晶体波导-微腔耦合结构（11a）、第二光子晶体波导（10b）、第二渐变波导（9b）和第二直波导（8b）；所述第一光子晶体波导（10a）、第一光子晶体波导-微腔耦合结构（11a）、第二光子晶体波导（10b）位于第一光子晶体微腔结构（13a）中；所述第二硅波导结构包括：沿第二光子晶体微腔结构（13b）射入、射出方向布置的第三直波导（8c）、第三渐变波导（9c）、第三光子晶体波导（10c）、第二光子晶体波导-微腔耦合结构（11b）、第四光子晶体波导（10d）、第四渐变波导（9d）和第四直波导（8d）；所述第三光子晶体波导（10c）、第二光子晶体波导-微腔耦合结构（11b）、第四光子晶体波导（10d）位于第二光子晶体微腔结构（13b）中。

全文数据：

权利要求：

百度查询： 电子科技大学 一种高精度硅波导集成光子晶体腔的光力式微加速度计

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