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申请/专利权人：华虹半导体(无锡)有限公司
申请日：2024-02-18
公开（公告）日：2024-06-04
公开（公告）号：CN118123711A
主分类号：B24B49/10
分类号：B24B49/10;G01R19/00;G01B7/06
优先权：
专利状态码：在审-实质审查的生效
法律状态：2024.06.21#实质审查的生效;2024.06.04#公开
摘要：本发明提供一种提升电涡流终点检测稳定性的方法，包括获取电涡流终点检测的固定涡流电压和固定研磨终点厚度；在同一固定涡流电压下，收集不同寿命抛光垫对应的电涡流终点检测的实际研磨终点厚度；计算实际研磨终点厚度与固定研磨终点厚度的偏差值，并将偏差值记作补偿偏置量Y；将补偿偏置量Y与不同寿命抛光垫的耗材值X拟合，得出拟合公式Y＝KX+B，式中B为新抛光垫终点厚度误差，K为线性补偿系数；将拟合公式增加到电涡流终点检测系统以进行终点检测。本发明在现有固定研磨终点厚度基础上，通过增加与抛光垫寿命有关的补偿偏置量，使得电涡流终点检测更加准确，提升了电涡流终点检测稳定性。
主权项：1.一种提升电涡流终点检测稳定性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、获取电涡流终点检测的固定涡流电压和固定研磨终点厚度；步骤二、在同一所述固定涡流电压下，收集不同寿命抛光垫对应的所述电涡流终点检测的实际研磨终点厚度；步骤三、计算所述实际研磨终点厚度与所述固定研磨终点厚度的偏差值，并将所述偏差值记作补偿偏置量Y；步骤四、将所述补偿偏置量Y与所述不同寿命抛光垫的耗材值X拟合，得出拟合公式Y＝KX+B，式中B为新抛光垫终点厚度误差，K为线性补偿系数；步骤五、将所述拟合公式增加到电涡流终点检测系统以进行终点检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华虹半导体(无锡)有限公司 一种提升电涡流终点检测稳定性的方法
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