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申请/专利权人：先导薄膜材料(广东)有限公司
申请日：2023-06-01
公开（公告）日：2024-06-07
公开（公告）号：CN116813310B
主分类号：C04B35/01
分类号：C04B35/01;C04B35/622;C23C14/34
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.07#授权;2023.10.24#实质审查的生效;2023.09.29#公开
摘要：本发明属于靶材制备技术领域，公开了一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法。所述制备方法为：将稀土金属氧化物粉末、氧化镓粉末、第一分散剂经湿法研磨，得到浆料一；加入氧化锡粉末、第二分散剂经湿法研磨，得到浆料二；加入氧化铟粉末、第三分散剂经湿法研磨，得到浆料三；加入粘结剂经湿法研磨，得到浆料四；然后喷雾造粒、混料和筛分，再进行冷压及冷等静压成型，高温烧结得到稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材。本发明的制备方法通过特定的分步研磨工艺结合特定的分散剂、粘结剂，可显著提升靶材的相对密度至99％以上，并通过稀土元素掺杂改善靶材内部载流子的浓度，进一步改善氧化物靶材及器件的电阻率。
主权项：1.一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材的制备方法，其特征在于，包括如下制备步骤：（1）将稀土金属氧化物粉末、氧化镓粉末、第一分散剂和水一起经湿法研磨，得到浆料一；（2）向步骤（1）所得的浆料一中加入氧化锡粉末、第二分散剂和补加水一起经湿法研磨，得到浆料二；（3）向步骤（2）所得的浆料二中加入氧化铟粉末、第三分散剂和补加水一起经湿法研磨，得到浆料三；（4）向步骤（3）所得的浆料三中加入粘结剂一起经湿法研磨，得到浆料四；（5）将步骤（4）所得浆料四经喷雾造粒、混料和筛分，得到混合粉体；（6）将步骤（5）所得混合粉体依次进行冷压及冷等静压成型得到靶坯；（7）将步骤（6）所得靶坯在高温烧结炉中烧结得到稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材；所述稀土金属氧化物粉末为氧化镨粉末，其中氧化铟粉末、氧化镓粉末、氧化锡粉末和氧化镨粉末加入的质量比为68.9~79.2:14.25~18.3:4.05~7.6:2.5~5.2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(广东)有限公司 一种稀土元素掺杂氧化铟锡镓靶材及其制备方法
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