申请/专利权人:京瓷AVX元器件公司
申请日:2022-10-20
公开(公告)日:2024-06-14
公开(公告)号:CN118202461A
主分类号:H01L27/06
分类号:H01L27/06;H01L29/94;H01L29/66
优先权:["20211101 US 63/274,102"]
专利状态码:在审-实质审查的生效
法律状态:2024.07.02#实质审查的生效;2024.06.14#公开
摘要:提供了一种组合式金属氧化物半导体MOS和金属绝缘体半导体MIS电容器组件。该电容器组件包括:衬底,该衬底包括半导体材料;氧化层,该氧化层形成在衬底的表面上;以及绝缘层,该绝缘层形成在氧化层的至少一部分上。该电容器组件还包括第一导电端子和第二导电端子,以及与衬底连接的第三端子。该氧化层串联连接在衬底与第一导电层之间,以在第一端子与第三端子之间形成第一电容器。绝缘层串联连接在衬底与第二导电层之间,以在第二端子与第三端子之间形成第二电容器。
主权项:1.一种电容器组件,包括:衬底,所述衬底包括半导体材料;氧化层,所述氧化层形成在所述衬底的表面上;绝缘层,所述绝缘层形成在所述氧化层的至少一部分上;第一导电层,所述第一导电层形成在所述氧化层的至少一部分上;第二导电层,所述第二导电层形成在所述绝缘层的至少一部分上;第一端子,所述第一端子与所述第一导电层连接;第二端子,所述第二端子与所述第二导电层连接;以及第三端子,所述第三端子与所述衬底连接;其中,所述氧化层串联连接在所述衬底与所述第一导电层之间,以在所述第一端子与所述第三端子之间形成第一电容器;并且其中,所述绝缘层串联连接在所述衬底与所述第二导电层之间,以在所述第二端子与所述第三端子之间形成第二电容器。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 京瓷AVX元器件公司 组合式MOS/MIS电容器组件
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