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申请/专利权人：卡尔蔡司SMT有限责任公司
申请日：2019-04-08
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN118209764A
主分类号：G01R1/073
分类号：G01R1/073;G02B26/08;G01R1/07;G02B6/26;G01R31/311
优先权：["20180409 DE 102018108283.5"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.18#公开
摘要：本发明基于实现光子集成电路901的简单且可靠的接触的目的。这通过使用可提供探针卡功能的光电电路板300成为可能。该光电电路板300包含至少一个导电体线路381、385、386、387和至少一个光束路径371。
主权项：1.一种系统90，包含：-电路板300，其配置成用于接触光子集成电路901，-光学测试装置801，其具有光源802和扫描装置803，其中该光学测试装置801配置成驱动该光源802和该扫描装置803，以发射光束871、811A到该电路板300，其中，该电路板300包含：-至少一个光束路径371，其延伸于该电路板300的前侧398与该电路板300的后侧399之间，该电路板300配置成接触该光子集成电路901的光学接口971、921、922，该光学接口971、921、922定位为邻近该后侧399，以及其中，所述扫描装置发射所述光束且相对于该电路板的前侧398上的多个光学耦合点可变地定位所述光束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 卡尔蔡司SMT有限责任公司 接触光子集成电路的光电电路板及方法
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