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申请/专利权人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室))
申请日：2021-10-15
公开（公告）日：2024-06-18
公开（公告）号：CN114019249B
主分类号：G01R29/08
分类号：G01R29/08;G01R31/28
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.18#授权;2022.02.25#实质审查的生效;2022.02.08#公开
摘要：本申请涉及一种电离辐射耦合下的NBTI测试方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：在电离辐射的环境中对样品器件施加步进电压应力；获取每段应力电压对应的阈值电压漂移；根据每段应力电压对应的阈值电压漂移，得到NBTI效应幂指数模型；提取NBTI效应幂指数模型的参数；根据NBTI效应幂指数模型的参数，对样品器件进行寿命评估。采用本方法能够同时考虑了总剂量辐射和NBTI效应对器件可靠性的影响，解决在辐射耦合下的NBTI寿命评估问题，通过对一个器件施加步进电压应力就可以获取器件的性能随时间变化的幂指数关系，大大地节省所需样品器件的数量，简化了测试流程，提高了效率。
主权项：1.一种电离辐射耦合下的NBTI测试方法，其特征在于，所述方法包括：在电离辐射的环境中对样品器件施加步进电压应力；获取每段应力电压对应的阈值电压漂移；根据所述每段应力电压对应的阈值电压漂移，得到NBTI效应幂指数模型；提取所述NBTI效应幂指数模型的参数；根据所述NBTI效应幂指数模型的参数，对所述样品器件进行寿命评估，其中，所述提取所述NBTI效应幂指数模型的参数包括：监测所述样品器件在步进电压应力下产生的NBTI效应，得到每段应力电压对应的阈值电压漂移；根据所述每段应力电压对应的阈值电压漂移，将每段应力电压对应的阈值电压漂移归一化为第一段应力电压下的阈值电压漂移，得到等效应力时间数据，结合所述NBTI效应幂指数模型，得到有效时间幂函数模型；通过数学拟合得到时间幂指数值；根据所述有效时间幂函数模型和时间幂指数值，获取相应的电压幂指数值。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子产品可靠性与环境试验研究所((工业和信息化部电子第五研究所)(中国赛宝实验室)) 电离辐射耦合下的NBTI测试方法与装置
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