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申请/专利权人：芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司
申请日：2024-04-08
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118249195A
主分类号：H01S5/042
分类号：H01S5/042;H01S5/183
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供一种垂直腔面发射激光器及其制造方法，垂直腔面发射激光器的制造方法包括：提供一衬底，所述衬底上形成有外延层；形成沟槽于所述外延层中；形成保护层于所述沟槽的内壁上，且所述保护层延伸至所述沟槽外围的部分所述外延层上；形成种子层覆盖于所述外延层和所述保护层上，所述种子层位于所述外延层上的部分作为欧姆接触层；形成电极层于所述种子层上。本发明的技术方案在实现良好的欧姆接触的同时，还简化了工艺步骤且降低了成本。
主权项：1.一种垂直腔面发射激光器的制造方法，其特征在于，包括：提供一衬底，所述衬底上形成有外延层；形成沟槽于所述外延层中；形成保护层于所述沟槽的内壁上，且所述保护层延伸至所述沟槽外围的部分所述外延层上；形成种子层覆盖于所述外延层和所述保护层上，所述种子层位于所述外延层上的部分作为欧姆接触层；形成电极层于所述种子层上。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 芯联越州集成电路制造(绍兴)有限公司 垂直腔面发射激光器及其制造方法
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