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申请/专利权人：哈尔滨秋冠光电科技有限公司
申请日：2023-10-13
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221224623U
主分类号：G01N23/20
分类号：G01N23/20;G01N23/20008
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种notch晶片A向偏分测量装置，包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，蓝宝石晶片测量托盘包括测量托盘、蓝宝石notch晶片缺口定位装置和可折叠收缩晶片测量托盘手臂。本实用新型改进现有的晶片测量设备，新增待测量晶片位置和角度确认装置。改造后的设备能够精准定位待测量蓝宝石notch晶片摆放角度。将发射出的射线光精准地照射在待测量蓝宝石notch晶片的圆弧A向定点上，利用x射线定向仪微安表读数，将蓝宝石notch晶片的A向偏差角真实地反馈出来。
主权项：1.一种notch晶片A向偏分测量装置，包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，其特征在于蓝宝石晶片测量托盘包括设置在x射线定向仪上的射线发射装置、射线接收装置和蓝宝石晶片测量托盘，蓝宝石晶片测量托盘包括测量托盘、蓝宝石notch晶片缺口定位装置和可折叠收缩晶片测量托盘手臂；射线发射装置包括设置在一个固定的射线发射角度上的可以控制发射和关闭的开关；射线接收装置包括射线接收装置和可调整不同角度的角度调节模块；蓝宝石notch晶片缺口定位装置的边缘大小适配待测量晶片，底部设计有与notch晶片缺口相匹配的用来给待测量notch晶片定位的“角状”凸起；射线发射装置与待测量晶片豁口对面的A向形成直线位置设置；待测量晶片通过角度调节模块摆放在能够接收到射线的位置和角度上；可折叠收缩晶片测量托盘手臂包括可控制的折叠收缩结构和托盘手臂，托盘手臂通过折叠收缩结构连接测量托盘和蓝宝石notch晶片缺口定位装置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 一种notch晶片A向偏分测量装置
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