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申请/专利权人：郑州大学;中原关键金属实验室
申请日：2024-03-28
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN118256868A
主分类号：C23C14/08
分类号：C23C14/08;C04B35/453;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/54;C30B29/22;C30B23/00;H01B5/14;H01B13/00
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.28#公开
摘要：本发明实施例公开了稀土掺杂AZO多晶薄膜材料及其制备方法；多晶薄膜材料由稀土、氧化铝对氧化锌进行共掺杂得到，其中，稀土的含量为0.1～5wt.％，氧化铝的含量为2wt.％，氧化锌的含量为93～98wt.％；多晶薄膜材料的厚度为50～500nm，可见光透过率为85～95％，电阻率为1×10‑4～9×10‑4Ω·cm；制备方法包括步骤：S1、稀土粉体、氧化铝粉体与氧化锌粉体混合，得到混合粉体；S2、混合粉体压制、烧结得到靶材；S3、以得到的靶材为溅射靶材，在衬底上沉积得到系统掺杂AZO多晶薄膜材料。AZO多晶薄膜材料性能优异，且稳定性好，可以媲美ITO材料，满足光伏电池、薄膜显示器等领域的应用要求；且制备方法简单，工艺参数易于调控，适合工业化生产。
主权项：1.稀土掺杂AZO多晶薄膜材料，其特征在于，所述多晶薄膜材料由稀土、氧化铝对氧化锌进行共掺杂得到，其中，所述稀土的含量为0.1～5wt.％，所述氧化铝的含量为2wt.％，所述氧化锌的含量为93～98wt.％；所述多晶薄膜材料的厚度为50～500nm，可见光透过率为85～95％，电阻率为1×10-4～9×10-4Ω·cm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州大学;中原关键金属实验室 稀土掺杂AZO多晶薄膜材料及其制备方法
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