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一种化合物半导体晶圆加工用晶棒切片机 

申请/专利权人:弘元绿色能源股份有限公司

申请日:2023-11-28

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN221232878U

主分类号:B28D5/04

分类号:B28D5/04;B28D7/00;B28D7/02;B28D7/04

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权

摘要:本实用新型公开了一种化合物半导体晶圆加工用晶棒切片机,包括支撑架,所述支撑架的上端活动安装有输送带,所述支撑架一侧的下端固定安装有接料箱,所述支撑架上端的两侧固定安装有支撑柱,所述支撑柱的上端固定安装有液压缸,所述液压缸的下端固定连接有切割线。本实用新型所述的一种化合物半导体晶圆加工用晶棒切片机,通过分隔板,相邻两组分隔板之间形成晶棒放置通道,能够一次切割多组晶棒,进而提高切割效率,通过定位机构,能够对晶棒进行限位夹持,保证晶棒稳定切片,提高了晶棒的切片品质,保证晶棒切片的均匀,通过设置的吸尘机构,能够对废屑进行吸附收集,从而避免碎屑四处飞散,起到环保的效果,带来更好的使用前景。

主权项:1.一种化合物半导体晶圆加工用晶棒切片机,包括支撑架1,其特征在于:所述支撑架1的上端活动安装有输送带2,所述支撑架1一侧的下端固定安装有接料箱3,所述支撑架1上端的两侧固定安装有支撑柱4,所述支撑柱4的上端固定安装有液压缸5,所述液压缸5的下端固定连接有切割线6。

全文数据:

权利要求:

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